【產品介紹】kSA Emissometer 石墨盤發(fā)射率測量系統(tǒng)

kSA Emissometer 石墨盤發(fā)射率測量系統(tǒng):采用雙傳感器設計，可在石墨盤旋轉同時進行整個石墨盤的漫反射率、鏡面反射率及發(fā)射率二維分布Mapping測量。物體的發(fā)射率與物體的表面狀態(tài)(包括物體表面溫度、表面粗糙度、面形以及表面氧化層、涂層、缺陷、殘留物、表面雜質等)有關。所以，通過對石墨盤各個點發(fā)射率的測量可以直接反映出石墨盤表面肉眼難以觀測到的表面細節(jié)，同時基于黑體輻射原理進一步評估石墨盤表面溫度的分布情況。 這對有效控制器件的質量，以及優(yōu)化生長工藝有極大的幫助。